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Terms of microlithography technology for microelectronics
国家标准《微电子学微光刻技术术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院微电子研究所。
主要起草人陈宝钦 、王香 、李和委 、王力玉 、李新涛 、冯伯儒 、薛丽君 、郝美玲 、薛彩荣 。
标准号：GB/T 44928-2024发布日期：2024-12-31实施日期：2024-12-31标准类别：基础中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会主管部门：国家标准委
中国科学院微电子研究所
陈宝钦王香李新涛冯伯儒薛彩荣李和委王力玉薛丽君郝美玲
SJ/T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语20242164-T-609 光刻用掺钛石英玻璃20242209-T-606 高分辨率干膜光刻胶20240186-T-604 光纤传感技术术语GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆JB/T 14418-2023 内燃机 激光刻线气缸套技术规范SJ/T 10668-2023 电子组装技术术语SL 56-2013 农村水利技术术语SL 56-2005 农村水利技术术语JB/T 7250-1994 干燥技术术语
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CMA
CMA检测资质
微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
数据
数据严谨精准
提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
立场
独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
CMA检测资质
微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
数据严谨精准
提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
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