GB/T 44919-2024《微机电系统（MEMS）技术薄膜力学性能的鼓胀试验方法》

Micro-electromechanical systems （MEMS）technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films

国家标准《微机电系统（MEMS）技术薄膜力学性能的鼓胀试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、苏州慧闻纳米科技有限公司、工业和信息化部电子第五研究所、深圳市美思先端电子有限公司、东南大学、芯联集成电路制造股份有限公司、中关村光电产业协会、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、上海交通大学、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、武汉高德红外股份有限公司。

主要起草人周维虎、李根梓、孙宏霖、刘胜、霍树春、高成臣、焦斌斌、陈立国、杨剑宏、张平平、陈志文、陈思、马龙全、黄庆安、聂萌、谢红梅、陈晓梅、卢永红、张红旗、刘景全、高峰、黄晟。

基础信息

标准号：GB/T 44919-2024发布日期：2024-11-28实施日期：2024-11-28标准类别：方法中国标准分类号：L59国际标准分类号：31.080.99 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-17:2015。采标中文名称:半导体器件微机电器件第17部分：薄膜机械性能的打压试验方法。

起草单位

中国科学院微电子研究所苏州容启传感器科技有限公司北京大学苏州晶方半导体科技股份有限公司工业和信息化部电子第五研究所东南大学中关村光电产业协会上海交通大学武汉高德红外股份有限公司中机生产力促进中心有限公司武汉大学昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司苏州慧闻纳米科技有限公司深圳市美思先端电子有限公司芯联集成电路制造股份有限公司华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司

起草人

周维虎李根梓霍树春高成臣杨剑宏张平平马龙全黄庆安陈晓梅卢永红高峰黄晟孙宏霖刘胜焦斌斌陈立国陈志文陈思聂萌谢红梅张红旗刘景全

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