GB/T 44538-2024《碳基薄膜椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》

Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry

国家标准《碳基薄膜椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》由TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口，TC57SC10（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会）执行，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司。

主要起草人段海涛、贾丹、曹一莹、张心凤、沈学忠、高明、詹胜鹏、凃杰松、王彦峰、王流火、杨田、陈辉、骆小双、尤锦鸿、易娟、苏东艺。

基础信息

标准号：GB/T 44538-2024发布日期：2024-09-29实施日期：2025-04-01标准类别：基础中国标准分类号：A29国际标准分类号：25.220.99 归口单位：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会执行单位：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会主管部门：中国机械工业联合会

采标情况

本标准修改采用ISO国际标准：ISO 23216:2021。采标中文名称:碳基薄膜椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能。

起草单位

中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司安徽纯源镀膜科技有限公司广东电网有限责任公司纳狮新材料有限公司中国科学院深圳先进技术研究院广州今泰科技股份有限公司

起草人

段海涛贾丹沈学忠高明王彦峰王流火骆小双尤锦鸿曹一莹张心凤詹胜鹏凃杰松杨田陈辉易娟苏东艺

相近标准(计划)

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