GB/T 43748-2024《微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》

Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips

国家标准《微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米（苏州）股份有限公司。

主要起草人伍超群、于洪宇、乔明胜、陈文龙、周鹏、邱杨、黄晋华、汪青、程鑫。

基础信息

标准号：GB/T 43748-2024发布日期：2024-03-15实施日期：2024-10-01标准类别：方法中国标准分类号：N 33国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国微束分析标准化技术委员会执行单位：全国微束分析标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

广东省科学院工业分析检测中心胜科纳米（苏州）股份有限公司南方科技大学

起草人

伍超群于洪宇周鹏邱杨程鑫乔明胜陈文龙黄晋华汪青

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