GB/T 42721-2023《电子特气一氧化氮》

Electronic specialty gas—Nitric oxide

国家标准《电子特气一氧化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位大连科利德光电子材料有限公司、昊华气体有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、绿菱电子材料(天津）有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、三峡大学、湖北和远气体股份有限公司、湖北京瑞气体有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、昊华气体有限公司西南分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国计量科学研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭氧集团股份有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、浙江泓芯半导体有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、空气化工产品（中国）投资有限公司、浙江炬和科技有限公司、绍兴科艺标准技术咨询有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司。

主要起草人施旖旎、付梦月、陈辉、刘颖、焦培培、郭琼、张天泽、李翔宇、袁瑞玲、邵治平、傅铸红、陈艳珊、金向华、孙猛、廖恒易、茹高艺、曹雪枫、汤萍、牛艳东、李长健、马彬淇、杜大艳、曹小林、方强、袁有录、王小波、尹爱华、常侠、边鲁宁、阳辉、汪正宏、陈洁、吴靓、方华、王昭彬、于庆伟、高艳秋、郝萍、王德发、张体强、张金波、杨金山、秦远望、何波、杨康、黄辉、韩一松、毛玲玲、吴慧明、兰锋、尚柏羊、耿朝曦、王晶、李倩、董硕、顾大正、宫兵、王大为、杨利、钱叶超、吴乾康、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、赵刚、赖晓峰、周鹏云。

基础信息

标准号：GB/T 42721-2023发布日期：2023-08-06实施日期：2024-03-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

大连科利德光电子材料有限公司湖州市南浔区佰通标准化研究院广东华特气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司绿菱电子材料(天津）有限公司三峡大学湖北京瑞气体有限公司玉门大洋天庆石化有限责任公司中昊光明化工研究设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海市计量测试技术研究院杭州新世纪混合气体有限公司联雄投资(上海)有限公司衢州杭氧特种气体有限公司浙江泓芯半导体有限公司空气化工产品（中国）投资有限公司绍兴科艺标准技术咨询有限公司浙江西亚特电子材料有限公司和立气体（上海）有限公司西南化工研究设计院有限公司昊华气体有限公司中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司苏州金宏气体股份有限公司华测检测认证集团股份有限公司北京高麦克仪器科技有限公司湖北和远气体股份有限公司兰州裕隆气体股份有限公司昊华气体有限公司西南分公司上海申南特种气体有限公司大连大特气体有限公司中国计量科学研究院宿州伊维特新材料有限公司杭氧集团股份有限公司上海凡伟仪器设备有限公司布鲁克（北京）科技有限公司浙江炬和科技有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司浙江东开半导体科技有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司

起草人

施旖旎付梦月焦培培郭琼袁瑞玲邵治平金向华孙猛曹雪枫汤萍马彬淇杜大艳袁有录王小波边鲁宁阳辉吴靓方华高艳秋郝萍张金波杨金山杨康黄辉吴慧明兰锋王晶李倩宫兵王大为吴乾康梁永强马昌宁赵刚陈辉刘颖张天泽李翔宇傅铸红陈艳珊廖恒易茹高艺牛艳东李长健曹小林方强尹爱华常侠汪正宏陈洁王昭彬于庆伟王德发张体强秦远望何波韩一松毛玲玲尚柏羊耿朝曦董硕顾大正杨利钱叶超梁成科高静赖晓峰周鹏云

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