GB/T 42106-2022《纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法》

Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation

国家标准《纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。

主要起草单位中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院。

主要起草人顾长志、杨海方、李俊杰、刘前、王益群、樊阳波。

基础信息

标准号：GB/T 42106-2022发布日期：2022-12-30实施日期：2023-07-01标准类别：方法中国标准分类号：A42国际标准分类号：07.030 归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会主管部门：中国科学院

起草单位

中国科学院物理研究所深圳市标准技术研究院国家纳米科学中心

起草人

顾长志杨海方王益群樊阳波李俊杰刘前

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