GB/T 42276-2022《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定离子色谱法》

Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method

国家标准《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定离子色谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司。

主要起草人银波、邱艳梅、刘国霞、黄彬、李素青、张吉武、宋炳信、鲁文锋、王港、李玫、张正霞、吴英良、侯倩慧、王晓娇、曹家凯、高裕昆、崔巍。

基础信息

标准号：GB/T 42276-2022发布日期：2022-12-30实施日期：2023-04-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

新特能源股份有限公司瑞士万通中国有限公司青岛盛瀚色谱技术有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司青岛瓷兴新材料有限公司新疆晶硕新材料有限公司江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司青岛普仁仪器有限公司江苏联瑞新材料股份有限公司

起草人

银波邱艳梅李素青张吉武王港李玫侯倩慧王晓娇崔巍刘国霞黄彬宋炳信鲁文锋张正霞吴英良曹家凯高裕昆

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