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Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、浙江海纳半导体有限公司。
主要起草人库黎明 、孙燕 、闫志瑞 、张果虎 、夏秋良 、潘金平 。
标准号：GB/T 41652-2022发布日期：2022-07-11实施日期：2023-02-01标准类别：产品中国标准分类号：H 82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
有研半导体硅材料股份公司新美光（苏州）半导体科技有限公司山东有研半导体材料有限公司浙江海纳半导体有限公司
库黎明孙燕夏秋良潘金平闫志瑞张果虎
20250575-T-469 高温扩散用硅舟及硅保温筒YS/T 1109-2016 有机硅用硅粉YS/T 1061-2024 硅多晶用硅芯GB 30530-2014 有机硅环体单位产品能源消耗限额HG/T 5081-2016 纺织染整助剂 有机硅整理剂 硅含量的测定HG/T 4909-2016 车灯用有机硅密封胶JB/T 3078-2015 电气绝缘用漆 有机硅浸渍漆20250577-T-469 化学气相沉积用硅喷射管JB/T 7622-1994 电力半导体器件工艺用有机硅漆20250087-T-469 集成电路用高纯硅靶材
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CMA
CMA检测资质
微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
数据
数据严谨精准
提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
立场
独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
CMA检测资质
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数据严谨精准
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独立公正立场
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船舶导航系统EMC测试第三方检测中的辐射发射测试具体如何实施
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