GB/T 39145-2020《硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法》

Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry

国家标准《硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、无锡华瑛微电子技术有限公司、龙腾半导体有限公司、厦门科鑫电子有限公司。

主要起草人骆红、潘文宾、赵而敬、孙燕、张海英、徐新华、温子瑛、胡金枝、李素青、马林宝、李俊需。

基础信息

标准号：GB/T 39145-2020发布日期：2020-10-11实施日期：2021-09-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

南京国盛电子有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司有色金属技术经济研究院龙腾半导体有限公司有研半导体材料有限公司上海合晶硅材料有限公司无锡华瑛微电子技术有限公司厦门科鑫电子有限公司

起草人

骆红潘文宾张海英徐新华李素青马林宝赵而敬孙燕温子瑛胡金枝李俊需

相近标准(计划)

20250130-T-469 天然气微量金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法SJ/T 11555-2015 用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中金属元素的含量HJ 766－2015 固体废物金属元素的测定电感耦合等离子体质谱法20250729-T-469 碳化硅晶片表面杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法HJ 657－2013 空气和废气颗粒物中铅等金属元素的测定电感耦合等离子体质谱法HJ 803-2016 土壤和沉积物 12种金属元素的测定王水提取-电感耦合等离子体质谱法GB/T 24916-2010 表面处理溶液金属元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法SJ/T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量SN/T 4240-2015 电子电气产品金属部件表面镀镍层中铅、镉含量测定电感耦合等离子体质谱法DB37/T 4435-2021 土壤和沉积物　14种金属元素总量的测定　电感耦合等离子体质谱法