GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》

Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

国家标准《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。

主要起草单位中国计量科学研究院。

主要起草人王海、王梅玲、张艾蕊、宋小平。

基础信息

标准号：GB/T 36053-2018发布日期：2018-03-15实施日期：2019-02-01标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16413:2013。采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度-仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。

起草单位

中国计量科学研究院

起草人

王海王梅玲张艾蕊宋小平

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