GB/T 34893-2017《微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法》

Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

国家标准《微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位天津大学、中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所。

主要起草人胡晓东、郭彤、于振毅、李海斌、程红兵、裘安萍、崔波、朱悦。

基础信息

标准号：GB/T 34893-2017发布日期：2017-11-01实施日期：2018-05-01标准类别：方法中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

天津大学国家仪器仪表元器件质量监督检验中心中国电子科技集团公司第十三研究所中机生产力促进中心南京理工大学

起草人

胡晓东郭彤程红兵裘安萍于振毅李海斌崔波朱悦

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