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Surface chemical analysis—Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
国家标准《表面化学分析 工作参考物质中离子注入产生的驻留面剂量定值的推荐程序 》由TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口,主管部门为中国科学院。
主要起草单位中国科学院化学研究所、中国石化石油化工科学研究院、国家纳米科学中心。
主要起草人邱丽美 、刘芬 、徐鹏 、刁玉霞 、赵志娟 、章小余 。
标准号:GB/T 34174-2017发布日期:2017-09-07实施日期:2018-08-01标准类别:方法中国标准分类号:G04国际标准分类号:71.040.40 归口单位:全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位:全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门:中国科学院
本标准等同采用ISO国际标准:ISO/TR 16268:2009。采标中文名称:表面化学分析验证工作参考物质中离子植入产生的保留面剂量的建议规程。
中国科学院化学研究所国家纳米科学中心中国石化石油化工科学研究院
邱丽美刘芬赵志娟章小余徐鹏刁玉霞
20233734-T-469 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法GB/T 25186-2010 表面化学分析 二次离子质谱 - 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子WST 419-2013 参考物质中酶活性浓度的赋值GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法20232364-T-469 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱分析中X射线致材料非预期损伤的识别、评估和校正程序GB/T 22572-2008 表面化学分析二次离子质谱用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法20233749-T-469 用于校准剂量仪和剂量率仪及确定其能量响应的X和γ参考辐射 第1部分:辐射特性及产生方法20232372-Z-469 表面化学分析辉光放电质谱操作程序20232371-T-469 表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序20232769-T-469 表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
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