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Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy
国家标准《用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位上海华虹NEC电子有限公司。
主要起草人王雷 、伍强 、朱骏 、陈宝钦 。
标准号：GB/T 29844-2013发布日期：2013-11-12实施日期：2014-04-15标准类别：基础中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
上海华虹NEC电子有限公司
王雷伍强朱骏陈宝钦
GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范GY/T 316-2018 用于节目制作的先进声音系统GB/T 42758-2023 用于节目制作的先进声音系统20240248-T-339 半导体集成电路 图形处理器（GPU）20250757-T-609 精细陶瓷（先进陶瓷，先进技术陶瓷）陶瓷涂层的试验方法 断裂应变的测定DZ/T 0468-2024 矿产资源节约与综合利用先进适用技术评价规范20250762-T-609 精细陶瓷（先进陶瓷、先进技术陶瓷） 高温下陶瓷复合材料的力学性能 拉伸性能的测定SJ/Z 11351-2006 用于描述、选择和转让的集成电路IP核属性格式标准YB/T 4712-2018 钢渣用于烧结烟气脱硫工艺技术规范20242269-T-339 集成电路 收发器的EMC评估 第5部分：以太网收发器
CMA检测资质
数据严谨精准
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服务领域广泛
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CMA
CMA检测资质
微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
数据
数据严谨精准
提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
立场
独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
CMA检测资质
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数据严谨精准
提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
独立公正立场
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服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
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