GB/T 29505-2013《硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》

Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

国家标准《硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。

主要起草人孙燕、李莉、卢立延、翟富义、向磊。

基础信息

标准号：GB/T 29505-2013发布日期：2013-05-09实施日期：2014-02-01标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体材料股份有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人

孙燕李莉向磊卢立延翟富义

相近标准(计划)

GB/T 13288.3-2009 涂覆涂料前钢材表面处理喷射清理后的钢材表面粗糙度特性第3部分：ISO表面粗糙度比较样块的校准和表面粗糙度的测定方法显微镜调焦法GB/T 13288.4-2013 涂覆涂料前钢材表面处理喷射清理后的钢材表面粗糙度特性第4部分：ISO表面粗糙度比较样块的校准和表面粗糙度的测定方法触针法GB/T 13288.1-2008 涂覆涂料前钢材表面处理喷射清理后的钢材表面粗糙度特性第1部分: 用于评定喷射清理后钢材表面粗糙度的ISO表面粗糙度比较样块的技术要求和定义20250148-T-469 300 mm硅片表面纳米形貌的评价方法GB/T 13288.5-2009 涂覆涂料前钢材表面处理喷射清理后的钢材表面粗糙度特性第5部分：表面粗糙度的测定方法复制带法GB/T 32642-2016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法GB/T 30860-2014 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法JB/T 7976-1999 轮廓法测量表面粗糙度的仪器术语JB/T 7976-2010 轮廓法测量表面粗糙度的仪器　术语JB/T 7976-1995 轮廓法测量表面粗糙度的仪器术语