GB/T 28632-2012《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定》

Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution

国家标准《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。

主要起草单位上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心。

主要起草人徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰。

基础信息

标准号：GB/T 28632-2012发布日期：2012-07-31实施日期：2013-02-01标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 18516:2006。采标中文名称:表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定。

起草单位

上海市计量测试技术研究院纳米技术及应用国家工程研究中心

起草人

徐建陆敏辛立辉何丹农吴立敏朱丽娜张冰

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