GB/T 26112-2010《微机电系统（MEMS）技术微机械量评定总则》

Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-mechanical parameters

国家标准《微机电系统（MEMS）技术微机械量评定总则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院。

主要起草人胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹等。

基础信息

标准号：GB/T 26112-2010发布日期：2011-01-10实施日期：2011-10-01标准类别：基础中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

天津大学西安交通大学太原理工大学中机生产力促进中心大连理工大学中原工学院

起草人

胡晓东丁红宇刘伟张苹

相近标准(计划)

GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则20242840-T-469 微机电系统（MEMS）技术压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法GB/T 44839-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法20242020-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS磁场传感器技术规范20240910-T-469 微机电系统（MEMS）技术微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法20243541-T-469 微机电系统（MEMS）技术溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法20242019-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片20242021-T-469 微机电系统（MEMS）技术MEMS电容式麦克风性能试验方法20243539-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS驻极体式振动能量收集器性能测试方法GB/T 42158-2023 微机电系统（MEMS）技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法