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Specification for round quartz photomask substrates
国家标准《圆形石英玻璃光掩模基板规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位长沙韶光微电子总公司。
标准号：GB/T 16523-1996发布日期：1996-09-09实施日期：1997-05-01标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.200 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会主管部门：国家标准委
本标准等效采用其他国际标准：SEMI P4:1992。采标中文名称:。
长沙韶光微电子总公司
GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法20220107-T-339 刚性有机封装基板规范20231187-T-469 平板显示器基板玻璃规范SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范20251015-T-339 刚性有机封装基板用绝缘胶膜规范GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
CMA检测资质
数据严谨精准
独立公正立场
服务领域广泛
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CMA
CMA检测资质
微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
数据
数据严谨精准
提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
立场
独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
CMA检测资质
微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
数据严谨精准
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独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
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