GB/T 43663-2024《表面化学分析二次离子质谱静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性》

Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Repeatability and constancy of the relative-intensity scale in static secondary-ion mass spectrometry

国家标准《表面化学分析二次离子质谱静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。

主要起草单位北京师范大学、清华大学、中国科学院物理研究所、中国计量科学研究院、北京化工大学。

主要起草人吴正龙、李展平、陆兴华、王海、程斌。

基础信息

标准号：GB/T 43663-2024发布日期：2024-03-15实施日期：2024-10-01标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 23830:2008。采标中文名称:表面化学分析二次离子质谱静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性。

起草单位

北京师范大学中国科学院物理研究所北京化工大学清华大学中国计量科学研究院

起草人

吴正龙李展平程斌陆兴华王海

相近标准(计划)

20232366-T-469 表面化学分析二次离子质谱单离子计数飞行时间质谱分析器的强度标线性GB/T 40129-2021 表面化学分析二次离子质谱飞行时间二次离子质谱仪质量标校准GB/T 25186-2010 表面化学分析二次离子质谱 - 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子20232769-T-469 表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度GB/T 40109-2021 表面化学分析二次离子质谱硅中硼深度剖析方法GB/T 32495-2016 表面化学分析二次离子质谱硅中砷的深度剖析方法SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法GB/T 20176-2006 表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度