GB/T 38866-2020《电子工业用二氯硅烷》

Dichlorosilane for electronic industry

国家标准《电子工业用二氯硅烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资（上海）有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司。

主要起草人丰雷、叶家爱、龚瑞、杨剑、刘畅、万烨、张园园、王春英、戴帅、谢秋琪、袁乐、傅铸红、禹金龙、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、李威、方艾黎、谭依玲。

基础信息

标准号：GB/T 38866-2020发布日期：2020-07-21实施日期：2021-02-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

湖北晶星科技股份有限公司洛阳中硅高科技有限公司湖北光谷标准创新科技有限公司浙江西亚特电子材料有限公司大连大特气体有限公司联雄投资（上海）有限公司达州市质量技术监督检验测试中心湖北省标准化与质量研究院唐山三孚电子材料有限公司广东华特气体股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海市计量测试技术研究院随州市信息与标准化所西南化工研究设计院有限公司

起草人

丰雷叶家爱刘畅万烨戴帅谢秋琪禹金龙杨利曹作斌曲庆黄辉谭鹏程李威方艾黎龚瑞杨剑张园园王春英袁乐傅铸红于青玉方华陈鹰李春华邓远方周鹏云谭依玲

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