GB/T 38867-2020《电子工业用四氯化硅》

Silicon tetrachloride for electronic industry

国家标准《电子工业用四氯化硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资（上海）有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司。

主要起草人徐德、张国光、黄娣、刘畅、杨剑、赵雄、楚东旭、王春英、戴帅、张竞、黄国菲、廖恒易、陈艳珊、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、徐龙、赵帅德、唐霞梅。

基础信息

标准号：GB/T 38867-2020发布日期：2020-07-21实施日期：2021-02-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

湖北晶星科技股份有限公司洛阳中硅高科技有限公司湖北光谷标准创新科技有限公司浙江西亚特电子材料有限公司大连大特气体有限公司联雄投资（上海）有限公司达州市质量技术监督检验测试中心湖北省标准化与质量研究院唐山三孚电子材料有限公司广东华特气体股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海市计量测试技术研究院随州市信息与标准化所西南化工研究设计院有限公司

起草人

徐德张国光杨剑赵雄戴帅张竞陈艳珊杨利曹作斌曲庆黄辉谭鹏程徐龙赵帅德黄娣刘畅楚东旭王春英黄国菲廖恒易于青玉方华陈鹰李春华邓远方周鹏云唐霞梅

相近标准(计划)

HG/T 5745-2020 工业四氯化硅YS/T 1195-2017 多晶硅副产品四氯化硅SJ/T 10676-1995 电子工业用氧化钴粉SJ/T 10875-1995 电子电器工业用硅微粉SJ/T 10677-1995 电子工业用氧化镍粉SJ/T 11598-2016 电子工业用氢化铝钠HG/T 3587-2023 电子工业用高纯钛酸钡HG/T 3587-2009 电子工业用高纯钛酸钡SJ/T 10678-1995 电子工业用氧化铋粉HG/T 3587-1999 电子工业用高纯钛酸钡