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Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准委。
主要起草单位新特能源股份有限公司、有研半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。
主要起草人银波 、夏进京 、邱艳梅 、刘国霞 、柴欢 、赵晶晶 、刘文明 、姚利忠 、王海礼 、邓浩 、高明 、郑连基 、陈赫 、石宇 、杨旭 、肖宗杰 。
标准号:GB/T 1557-2018发布日期:2018-09-17实施日期:2019-06-01全部代替标准:GB/T 1557-2006标准类别:方法中国标准分类号:H17国际标准分类号:77.040 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委
新特能源股份有限公司亚洲硅业(青海)有限公司隆基绿能科技股份有限公司峨嵋半导体材料研究所有研半导体材料有限公司宜昌南玻硅材料有限公司内蒙古盾安光伏科技有限公司北京合能阳光新能源技术有限公司
银波夏进京柴欢赵晶晶王海礼邓浩陈赫石宇邱艳梅刘国霞刘文明姚利忠高明郑连基杨旭肖宗杰
SJ/T 10625-1995 锗单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量YB/T 4566.9-2016 氮化钒铁 氧含量的测定 红外线吸收法YB/T 4738-2019 硅钙合金 氧含量的测定 惰性气体熔融红外吸收法YB/T 4305-2012 钢铁及合金 氧含量的测定 惰性气体熔融-红外吸收法EJ/T 20171-2018 金属铀及铀合金中氧含量的测定 脉冲加热惰气熔融-红外吸收法20231107-T-469 硅片氧沉淀特性的测试间隙氧含量减少法YB/T 178.7-2008 硅铝合金、硅钡铝合金硫含量的测定 红外线吸收法
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