GB/T 13388-1992《硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法》

Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

国家标准《硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位北京有色金属研究总院。

基础信息

标准号：GB/T 13388-1992发布日期：1992-02-19实施日期：1992-10-01废止日期：2010-06-01标准类别：方法中国标准分类号：H21归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用ITU国际标准：ASTM F847:1983。采标中文名称:。

起草单位

北京有色金属研究总院

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