GB/T 26068-2010《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance

国家标准《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、中国计量科学研究院、洛阳单晶硅有限责任公司等。

主要起草人曹孜、孙燕、黄黎、高英等。

基础信息

标准号：GB/T 26068-2010发布日期：2011-01-10实施日期：2011-10-01废止日期：2019-11-01标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体材料股份有限公司中国计量科学研究院瑟米莱伯贸易（上海）有限公司洛阳单晶硅有限责任公司等

起草人

曹孜孙燕黄黎高英

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