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Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
国家标准《碳化硅单晶片直径测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院。
主要起草人丁丽 、周智慧 、蔺娴 、郝建民等 。
标准号：GB/T 30866-2014发布日期：2014-07-24实施日期：2015-02-01标准类别：方法中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
中国电子科技集团公司第四十六研究所中国电子技术标准化研究院
丁丽周智慧蔺娴郝建民
20231113-T-469 半导体晶片直径测试方法20231108-T-469 碳化硅单晶片微管密度测试方法20231112-T-469 碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法GB/T 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法GB/T 34520.2-2017 连续碳化硅纤维测试方法 第2部分：单纤维直径20250729-T-469 碳化硅晶片表面杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法20240494-T-469 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法SJ/T 11499-2015 碳化硅单晶电学性能的测试方法
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CMA检测资质
微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
数据
数据严谨精准
提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
立场
独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
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